手動バッチ加圧硬化炉 – PCO 500

300mmウェーハ向け伝導加熱プレート付き手動装填バッチ加圧硬化炉

• 装置サイズ(mm)：1,800[L] x 1,400[W] x 1,700[H]
• チャンバー使用面積(mm)：350[L] x 350[W] x 227[H]
• 最大動作圧力: 12 bar (174 psi)
• 最高動作温度：
  • 200⁰ C (強制対流式)
  • 350 ⁰ C (伝導板オプション)
• 手動装填
• 外付けチラーオプション

圧力室内の伝導版オプション

システム内の空気の流れ(トップダウン)