フラックスレス/ギ酸リフロー炉
Hellerは、ギ酸蒸気用の水平型フラックスのないギ酸リフローリフローオーブンを設計/製造しました。この新しいオーブンは、Semi S2/S8の安全基準（有毒ガスを含む）を満たすように設計されています。
当社のギ酸リフロープロセス. ギ酸リフロー炉は通常のリフロー炉と同様に、重要な加熱ゾーン(通常はソークゾーン)にギ酸の蒸気を注入して動作します。ここで、リフロー前の金属上の酸化物をギ酸で除去します。ギ酸のレベルはバブラーシステムによって維持され、リアルタイムでモニターされます。
ギ酸精密バブラーキャビネット. 当社のギ酸リフロー炉は、バブラーシステムによりプロセスチャンバー内のギ酸濃度を安定させ、安定したギ酸濃度を提供します。
- 0.5%以内の安定したギ酸蒸気濃度を供給するよう設計されており、安定した工程を確保します。
- ギ酸蒸気濃度は一定の温度でアントワン式に従って窒素を飽和させます。バブラー温度とバブラー内の窒素流量により、炉内のギ酸蒸気濃度を変化させることができます。
- 自動充填システムにより、バブラーが最小レベル以下になることはありません。
バブラーキャビネット
Hellerギ酸ゲート. ガス消費量を大幅に削減するギ酸ゲートを開発しました。ギ酸ゲートとは、リフロー炉の出入口に設置された2重のドアを指します。生産中に製品が機械に出入りする際、一度に開くドアは 1 つだけです。これにより、プロセスチャンバーを外部から隔離し、窒素とギ酸の消費量を削減します。
ギ酸リフローのメリットをご紹介します：
- 大量生産向けギ酸リフロー – 当社のギ酸リフロー炉は、通常のリフロー炉と同様にインライン連続処理を実現します。バッチ式と比較し、最高の生産性を実現します。
- 低消耗コスト – ギ酸リフロー炉には、炉の入口と出口に2重ドアを設け独自のギ酸ゲート機能が備わっています。これにより、高い生産性を維持しながら、窒素とギ酸の消費量を抑えられます。
- 真空プロセスオプション – ボイドフリー化への要求が高まる中、ギ酸リフロー炉はリフローゾーンに真空チャンバーをオプションで用意しています。
- 先進の安全システム – ギ酸炉はすべてのSEMI S2/S8規格に適合しており、安全モニタリングと軽減システムを装備しています。
- 最大クラス100のクリーンルーム対応 – 複数のクリーンルーム対応オプションがあり、最大クラス100まで対応可能！
- リアルタイム連続ギ酸モニタリング – ギ酸濃度を連続的に表示・記録し、効果的な工程モニタリングを実現します。
- リーダーシップと経験 – Heller Industriesはフラックスレスギ酸リフローのパイオニアであり、連続インラインギ酸リフローを初めて市場にもたらした技術リーダーです。
