1936MK5-ギ酸リフロー炉
| 装置長さ | 590cm |
| サブスクライブ | 上部10 / 下部10 |
| 加熱部全長 | 348 cm |
| 冷却部 | 上部3 (下部オプション) |
| 最高動作温度 | 標準: 350°C オプション: 400°C |
| クリーンルームオプション | クラス1000まで |
| ソークゾーンでのギ酸安定性 | +/- 1% |
- 自動補充式ギ酸バブラー
- ギ酸排出抑制システム
- リアルタイムギ酸濃度およびO2 PPMモニター
- ギ酸と一酸化炭素の安全センサー
- SEMI S2/S8準拠
| 装置長さ | 590cm |
| サブスクライブ | 上部10 / 下部10 |
| 加熱部全長 | 348 cm |
| 冷却部 | 上部3 (下部オプション) |
| 最高動作温度 | 標準: 350°C オプション: 400°C |
| クリーンルームオプション | クラス1000まで |
| ソークゾーンでのギ酸安定性 | +/- 1% |
