1936MK5-ギ酸リフロー炉

formic reflow oven image

装置長さ590cm
サブスクライブ上部10 / 下部10
加熱部全長348 cm
冷却部上部3 (下部オプション)
最高動作温度標準: 350°C オプション: 400°C
クリーンルームオプションクラス1000まで
ソークゾーンでのギ酸安定性+/- 1%
  • 自動補充式ギ酸バブラー
  • ギ酸排出抑制システム
  • リアルタイムギ酸濃度およびO2 PPMモニター
  • ギ酸と一酸化炭素の安全センサー
  • SEMI S2/S8準拠
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