全自動加圧硬化炉 – PCO 1300

300mm EFEMを備えた全自動加圧キュアオーブン

• 装置サイズ(mm)： 2,200[W] x 2,200[D] x 2,475[H]
• チャンバー使用面積(mm)：560[W] x 680[D] x 480[H]
• 最大動作圧力: 20 bar (290 psi)
• 最高動作温度：260⁰C
• 窒素対応(オプション)
• クリーンルームクラス100(オプション)
• 真空性能最大5Torr(オプション)
• EFEMを備えた全自動ローディング(300mmウェハー)