圧力硬化オーブン – PCO 860
Heller圧力硬化オーブンは圧力チャンバーを使用し、ボイド（空隙）の発生を最小限に抑え、接着強度を向上させます。
プリベークやプラズマ処理などの一部の前処理工程を不要にすることでプロセスを簡素化します。
Heller PCOはオプションの真空チャンバーを組み合わせることで、全体のサイクルタイムを短縮できます。
チャンバー内の一定圧力を維持しながら、空気（または窒素）を対流ヒーターモジュールで加熱します。
高信頼性のファンモーターによって加熱された空気が圧力チャンバー内を循環し、製品を均一に加熱します。
主な特長：
安定した温度制御
真空による有毒ガスの除去
TIMプロセス向けの高温・高圧オプション
仕様
| オーブン寸法（W×L×H mm） | 1,700 x 2,200 x 1,807 |
| 最大動作温度（°C） | 200 |
| 最大動作圧力（kgf/cm2） | 10 |
| 真空オプション（オプション） | 0.1 / 10 / 100 torr + 時間条件 例）760 torr → 10 torr / 5分 |
| クリーンルーム対応 | Class 10000 / 1000 / 100 対応 |
| 認証 | SEMI S2/S8、ETL、CE、NEPA など |
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