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縦型硬化炉755 K3/K5 小型縦型硬化炉 オプションでクリーンルーム対応の小型縦型硬化炉です。この装置は、わずか6フィートの床面積で、4時間もの硬化サイクルを提供できます。 様々なパレットサイズに対応した構成が可能な、汎用性の高い硬化炉です。 装置サイズ: 755 K3- 1900 (L) x 1620 (W) x 2000 (H) 755 K5- 1900 (L) x 1620 (W) x 2400 (H) 4ヶ所の加熱ゾーン 最小サイクルタイム:12秒 硬化時間:最大数時間 最大ゾーン温度設定値:120°C クリーンルーム対応: 755 K3 – クリーンルームなし 755 K5– クリーンルームオプション デュアルレーンおよび高処理能力を実現 多段式 VCO755 K3/K5 VCO755 K3/K5-19 VCO755 K3/K5-38 棚板枚数 上段 54 / 下段 54 上段 36 / […]
縦型硬化炉VCO 722 設置面積最小限の縦型硬化炉VCO 722 クリーンルームスペース4フィート未満の単列の小型縦型硬化炉です。 装置サイズ(mm):1874(L) x 1150(W) x 2256(H) 単列、2加熱ゾーン トレイ収容22枚(上22枚+下0枚) 棚ピッチ 38.1mm 硬化時間:最大60分 最大ゾーン温度設定値:120°C 排気モニタ VCO 722内のトレイ動き
全自動加圧硬化炉 – PCO 1300 300mm EFEMを備えた全自動加圧キュアオーブン 装置サイズ(mm): 2,200[W] x 2,200[D] x 2,475[H] チャンバー使用面積(mm):560[W] x 680[D] x 480[H] 最大動作圧力: 20 bar (290 psi) 最高動作温度:260⁰C 窒素対応(オプション) クリーンルームクラス100(オプション) 真空性能最大5Torr(オプション) EFEMを備えた全自動ローディング(300mmウェハー) Your browser does not support the video tag.
インライン加圧硬化炉 – PCO 1280 PLPパネルの硬化に使用されるデュアルローダーとマガジン容量2冊に対応したインライン加圧硬化です。 装置サイズ(mm):2,000[W] x 4,850[D] x 2,400[H] 最大動作圧力: 10 bar (145 psi) 最高動作温度:220⁰C 窒素 / CDA クリーンルームクラス1000 真空性能最大10Torr セミオートマチック装填(PLPパネルマガジン) 2冊容量 デュアルPLPパネルマガジン装填
Semi Automatic Pressure Curing Oven – PCO 1250 Semi automatic loading batch Pressure Curing Oven for magazines. Oven Size (mm): 3,040[L] x 1,980[W] x 2,698[H] Chamber Usable Area (mm): 1,415[L] x 650[W] x 540[H] Max Operating Pressure: 10 Bar (145 psi) Max Operating Temperature: 200⁰ C Nitrogen Enabled (option) Up to Cleanroom Class 100 (option) […]
加圧硬化炉PCO – 700 装置サイズ(mm):1,800[L] x 1,350[W] x 1,750[H] チャンバー使用面積(mm):500[L] x 460[W] x 460[H] 最大動作圧力: 8 bar (116 psi) 最高動作温度:200⁰C 窒素対応 クリーンルームクラス100まで対応(オプション) 真空性能最大10Torr 手動装填 チャンバー寸法 システム内の空気の流れ
手動バッチ加圧硬化炉 – PCO 500 300mmウェーハ向け伝導加熱プレート付き手動装填バッチ加圧硬化炉 装置サイズ(mm):1,800[L] x 1,400[W] x 1,700[H] チャンバー使用面積(mm):350[L] x 350[W] x 227[H] 最大動作圧力: 12 bar (174 psi) 最高動作温度: 200⁰ C (強制対流式) 350 ⁰ C (伝導板オプション) 手動装填 外付けチラーオプション 圧力室内の伝導版オプション システム内の空気の流れ(トップダウン)
ISO9001認証取得 マーケットリーダーとして、Hellerは多様性、柔軟性、エンジニアリング能力を備え、お客様の個々の硬化要件に応じたカスタムソリューションを開発します。Hellerでは、バッチ式とインライン式の両方の硬化炉を様々なフォームファクタと設置面積で提供しています。どのHeller製オーブンも窒素、クリーンルーム、自動化オプションがあり、非常に安定した処理を提供します。 横型硬化炉 横型インライン硬化炉は、高いUPHでパレットサイズに柔軟です。 縦型硬化炉 縦型インライン硬化炉で、設置面積を削減し、高いUPHを実現します。 加圧硬化炉 オートクレーブとも呼ばれる圧力チャンバー付き硬化炉で、ボイドフリーの硬化用途に適しています。 マガジン硬化炉 マガジン用途に適した硬化炉です。 Hellerは信頼性の高い機器、継続的なイノベーション、そして迅速なエンジニアリングを提供することで世界中のお客様から信頼を得ています。当社は24時間体制でグローバルなサービスネットワークを提供しています。また、RMATS(リモート・モデム・アクセス・テクニカルサービス)により、最先端のサポートを提供しています。この最新システムにより、当社のサービスエンジニアはお客様がどこにいても、いつでも炉内部の電子機器にアクセスし、お客様のご質問にお答えします。
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