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縦型硬化炉755 K3/K5

小型縦型硬化炉

縦型硬化炉755 K3/K5 photo
Semi automatic loading batch Pressure Curing Oven pic
Semi automatic batch pressure curing oven for semiconductor pic

オプションでクリーンルーム対応の小型縦型硬化炉です。この装置は、わずか6フィートの床面積で、4時間もの硬化サイクルを提供できます。
様々なパレットサイズに対応した構成が可能な、汎用性の高い硬化炉です。

  • 装置サイズ:
    • 755 K3- 1900 (L) x 1620 (W) x 2000 (H)
    • 755 K5- 1900 (L) x 1620 (W) x 2400 (H)
  • 4ヶ所の加熱ゾーン
  • 最小サイクルタイム:12秒
  • 硬化時間:最大数時間
  • 最大ゾーン温度設定値:120°C
  • クリーンルーム対応:
    • 755 K3 – クリーンルームなし
    • 755 K5– クリーンルームオプション
  • デュアルレーンおよび高処理能力を実現

多段式

VCO755 K3/K5 VCO755 K3/K5-19 VCO755 K3/K5-38
棚板枚数 上段 54 / 下段 54 上段 36 / 下段 36 上段 18 / 下段 18
棚ピッチ(mm) 12.7 19.05 38.1
最大基板サイズ 108 72 36
最大基板サイズ LxWxH (mm) 292 x 120 x 9 292 x 120 x 14 240 x 180 x 30
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