1912MK5-VRには3ヶ所の遠赤外線加熱ゾーンと11ヶ所の対流ゾーンが備わっているため、プロファイルをより小さなセグメントに細分化する柔軟性と、鉛フリー製品に必要な洗練された「プロファイルスカルプティング」を可能にします。加熱部の長さは382cm(150インチ)で大量生産に最適、メンテナンスの必要性や所有コストも抑えられます。
装置長さ | 590cm |
プロセスガスオプション | 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス |
加熱部 | 対流式:上部11/下部11 遠赤外線式:上部3 |
加熱部長さ(対流/全長) | 290 cm / 382 cm |
冷却部 | 上部3(下部オプション) |
最高動作温度(対流式/遠赤外線式) | 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C |
最小真空度 | 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr |
最大基板サイズ | 350mm (L) x 350mm (W) x 29mm (H) |
クリーンルームオプション | クラス1000まで |