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1808MK5-VR 真空リフロー炉

ボイドレス真空リフロー炉

ボイドレス/真空リフロー炉 photo

1808MK5-VRは、7ヶ所の対流ゾーンと3つのIRゾーンで構成されており、最小限のフロアスペースながら273cm(107インチ)の加熱長さを実現します。迅速な応答時間と正確な温度制御により、部品密度や基板の積載量に関係なく、プロセスの均一性を確保し、空気や窒素のいずれにおいても同様のプロファイル性能を実現します。

装置長さ 465cm
プロセスガスオプション 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス
加熱部 対流式:7トップ/7ボトム 遠赤外線式:3トップ
加熱部長さ(対流/全長) 174 cm / 273 cm
冷却部 上部2(下部オプション)
最高動作温度(対流式/遠赤外線式) 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C
最小真空度 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr
最大基板サイズ 500mm (L) x 450mm (W) x 29mm (H)
クリーンルームオプション クラス1000まで
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