1808MK5-VR 真空リフロー炉
ボイドレス真空リフロー炉
| 装置長さ | 465cm |
| プロセスガスオプション | 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス |
| 加熱部 | 対流式：7トップ／7ボトム 遠赤外線式：3トップ |
| 加熱部長さ(対流/全長) | 174 cm / 273 cm |
| 冷却部 | 上部2(下部オプション) |
| 最高動作温度(対流式／遠赤外線式) | 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C |
| 最小真空度 | 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr |
| 最大基板サイズ | 500mm (L) x 450mm (W) x 29mm (H) |
| クリーンルームオプション | クラス1000まで |
