1936MK5-VR 真空リフロー炉
ボイドレス真空リフロー炉
1936MK5-VRは、最小のデルタTで高い再現性を実現します。8つのコンベクションゾーン(長さ12インチ)と3つの独立赤外線加熱ゾーンにより、メンテナンスの必要性や所有コストを低く抑えながら、高い生産要件に対応する安定した性能を提供します。
| 装置長さ | 589cm |
| プロセスガスオプション | 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス |
| 加熱部 | 対流式：上部8／下部8 遠赤外線式：上部3 |
| 冷却部 | 上部3(下部オプション) |
| 最高動作温度(対流式／遠赤外線式) | 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C |
| 最小真空度 | 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr |
| 最大基板サイズ | 350mm (L) x 350mm (W) x 29mm (H) |
| クリーンルームオプション | クラス1000まで |
