縦型硬化炉755 K3/K5 小型縦型硬化炉 オプションでクリーンルーム対応の小型縦型硬化炉です。この装置は、わずか6フィートの床面積で、4時間もの硬化サイクルを提供できます。 様々なパレットサイズに対応した構成が可能な、汎用性の高い硬化炉です。 装置サイズ: 755 K3- 1900 (L) x 1620 (W) x 2000 (H) 755 K5- 1900 (L) x 1620 (W) x 2400 (H) 4ヶ所の加熱ゾーン 最小サイクルタイム:12秒 硬化時間:最大数時間 最大ゾーン温度設定値:120°C クリーンルーム対応: 755 K3 – クリーンルームなし 755 K5– クリーンルームオプション デュアルレーンおよび高処理能力を実現 多段式 VCO755 K3/K5 VCO755 K3/K5-19 VCO755 K3/K5-38 棚板枚数 上段 54 / 下段 54 上段 36 / […]
VCO 755-350 縦型硬化炉 クリーンルーム対応の縦型硬化炉 最大350mm×350mmの基板やパレットに対応するクリーンルーム対応の縦型硬化炉です。 装置サイズ:2500 (L) x 1800m (W) x 2000 (H) 4ヶ所の加熱ゾーン 棚ピッチ:31.75mm 基板収容36枚(上18枚+下18枚) 最大基板サイズ(mm):350 (L) x 350 (W) x 26 (H) 最小基板幅:90mm サイクルタイム:12秒 硬化時間:最大数時間 最大ゾーン温度設定値:180°C
縦型硬化炉VCO 722 設置面積最小限の縦型硬化炉VCO 722 クリーンルームスペース4フィート未満の単列の小型縦型硬化炉です。 装置サイズ(mm):1874(L) x 1150(W) x 2256(H) 単列、2加熱ゾーン トレイ収容22枚(上22枚+下0枚) 棚ピッチ 38.1mm 硬化時間:最大60分 最大ゾーン温度設定値:120°C 排気モニタ VCO 722内のトレイ動き
全自動加圧硬化炉 – PCO 1300 300mm EFEMを備えた全自動加圧キュアオーブン 装置サイズ(mm): 2,200[W] x 2,200[D] x 2,475[H] チャンバー使用面積(mm):560[W] x 680[D] x 480[H] 最大動作圧力: 20 bar (290 psi) 最高動作温度:260⁰C 窒素対応(オプション) クリーンルームクラス100(オプション) 真空性能最大5Torr(オプション) EFEMを備えた全自動ローディング(300mmウェハー) Your browser does not support the video tag.
インライン加圧硬化炉 – PCO 1280 PLPパネルの硬化に使用されるデュアルローダーとマガジン容量2冊に対応したインライン加圧硬化です。 装置サイズ(mm):2,000[W] x 4,850[D] x 2,400[H] 最大動作圧力: 10 bar (145 psi) 最高動作温度:220⁰C 窒素 / CDA クリーンルームクラス1000 真空性能最大10Torr セミオートマチック装填(PLPパネルマガジン) 2冊容量 デュアルPLPパネルマガジン装填
Semi Automatic Pressure Curing Oven – PCO 1250 Semi automatic loading batch Pressure Curing Oven for magazines. Oven Size (mm): 3,040[L] x 1,980[W] x 2,698[H] Chamber Usable Area (mm): 1,415[L] x 650[W] x 540[H] Max Operating Pressure: 10 Bar (145 psi) Max Operating Temperature: 200⁰ C Nitrogen Enabled (option) Up to Cleanroom Class 100 (option) […]
加圧硬化炉 – PCO 1150 PLPパネルの硬化用手動装填PCO 装置サイズ(mm):2,000[W] x 2,300[D] x 2,300[H] 最大動作圧力: 10 bar (145 psi) 最高動作温度:220⁰C 窒素 / CDA クリーンルームクラス1000 真空性能最大10Torr 手動装填(PLPパネルマガジン) 1冊容量 PLPパネルマガジン
加圧硬化炉PCO – 700 装置サイズ(mm):1,800[L] x 1,350[W] x 1,750[H] チャンバー使用面積(mm):500[L] x 460[W] x 460[H] 最大動作圧力: 8 bar (116 psi) 最高動作温度:200⁰C 窒素対応 クリーンルームクラス100まで対応(オプション) 真空性能最大10Torr 手動装填 チャンバー寸法 システム内の空気の流れ
手動バッチ加圧硬化炉 – PCO 500 300mmウェーハ向け伝導加熱プレート付き手動装填バッチ加圧硬化炉 装置サイズ(mm):1,800[L] x 1,400[W] x 1,700[H] チャンバー使用面積(mm):350[L] x 350[W] x 227[H] 最大動作圧力: 12 bar (174 psi) 最高動作温度: 200⁰ C (強制対流式) 350 ⁰ C (伝導板オプション) 手動装填 外付けチラーオプション 圧力室内の伝導版オプション システム内の空気の流れ(トップダウン)
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