2043MK5-Fギ酸リフロー炉 装置長さ 678厘米 サブスクライブ 上部13 / 下部13 加熱部全長 430 厘米 冷却部 上部3 (下部オプション) 最高動作温度 標準: 350°C オプション: 400°C クリーンルームオプション クラス1000まで ソークゾーンでのギ酸安定性 +/- 1% ギ酸排出抑制システム リアルタイムギ酸 リアルタイムギ酸濃度およびO2 PPMモニター ギ酸と一酸化炭素の安全センサー SEMI S2/S8準拠
1936MK5-ギ酸リフロー炉 装置長さ 590cm サブスクライブ 上部10 / 下部10 加熱部全長 348 cm 冷却部 上部3 (下部オプション) 最高動作温度 標準: 350°C オプション: 400°C クリーンルームオプション クラス1000まで ソークゾーンでのギ酸安定性 +/- 1% 自動補充式ギ酸バブラー ギ酸排出抑制システム リアルタイムギ酸濃度およびO2 PPMモニター ギ酸と一酸化炭素の安全センサー SEMI S2/S8準拠
フラックスレス/ギ酸リフロー炉 Hellerは、ギ酸蒸気用の水平型フラックスのないギ酸リフローリフローオーブンを設計/製造しました。この新しいオーブンは、Semi S2/S8の安全基準(有毒ガスを含む)を満たすように設計されています。 当社のギ酸リフロープロセス. ギ酸リフロー炉は通常のリフロー炉と同様に、重要な加熱ゾーン(通常はソークゾーン)にギ酸の蒸気を注入して動作します。ここで、リフロー前の金属上の酸化物をギ酸で除去します。ギ酸のレベルはバブラーシステムによって維持され、リアルタイムでモニターされます。 ギ酸精密バブラーキャビネット. 当社のギ酸リフロー炉は、バブラーシステムによりプロセスチャンバー内のギ酸濃度を安定させ、安定したギ酸濃度を提供します。 0.5%以内の安定したギ酸蒸気濃度を供給するよう設計されており、安定した工程を確保します。 ギ酸蒸気濃度は一定の温度でアントワン式に従って窒素を飽和させます。バブラー温度とバブラー内の窒素流量により、炉内のギ酸蒸気濃度を変化させることができます。 自動充填システムにより、バブラーが最小レベル以下になることはありません。 バブラーキャビネット Hellerギ酸ゲート. ガス消費量を大幅に削減するギ酸ゲートを開発しました。ギ酸ゲートとは、リフロー炉の出入口に設置された2重のドアを指します。生産中に製品が機械に出入りする際、一度に開くドアは 1 つだけです。これにより、プロセスチャンバーを外部から隔離し、窒素とギ酸の消費量を削減します。 1936MK5-F ギ酸リフロー炉 2043MK5-F ギ酸リフロー炉 ギ酸リフローのメリットをご紹介します: 大量生産向けギ酸リフロー – 当社のギ酸リフロー炉は、通常のリフロー炉と同様にインライン連続処理を実現します。バッチ式と比較し、最高の生産性を実現します。 低消耗コスト – ギ酸リフロー炉には、炉の入口と出口に2重ドアを設け独自のギ酸ゲート機能が備わっています。これにより、高い生産性を維持しながら、窒素とギ酸の消費量を抑えられます。 真空プロセスオプション – ボイドフリー化への要求が高まる中、ギ酸リフロー炉はリフローゾーンに真空チャンバーをオプションで用意しています。 先進の安全システム – ギ酸炉はすべてのSEMI S2/S8規格に適合しており、安全モニタリングと軽減システムを装備しています。 最大クラス100のクリーンルーム対応 – 複数のクリーンルーム対応オプションがあり、最大クラス100まで対応可能! リアルタイム連続ギ酸モニタリング – ギ酸濃度を連続的に表示・記録し、効果的な工程モニタリングを実現します。 リーダーシップと経験 – Heller Industriesはフラックスレスギ酸リフローのパイオニアであり、連続インラインギ酸リフローを初めて市場にもたらした技術リーダーです。
2043MK5-VR 真空リフロー炉 ボイドレス真空リフロー炉 2043MK5-VRは10個の対流加熱ゾーンと3個の遠赤外線ゾーンを備え、全加熱長430cmという究極の大量生産用真空リフロー炉です。大型真空チャンバーは最大500mmの基板に対応し、3ヶ所ある冷却ゾーンにより大型基板でも1秒あたり3℃以上の冷却速度が得られます。 装置長さ 680厘米 プロセスガスオプション 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス 加熱部 対流式:上部11/下部11 遠赤外線式:上部3 加熱部長さ(対流/全長) 327 cm / 430 cm 冷却部 上部3(下部オプション) 最高動作温度(対流式/遠赤外線式) 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C 最小真空度 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr 最大基板サイズ 500mm (L) x 450mm (W) x 29mm (H) クリーンルームオプション クラス1000まで
1936MK5-VR 真空リフロー炉 ボイドレス真空リフロー炉 1936MK5-VRは、最小のデルタTで高い再現性を実現します。8つのコンベクションゾーン(長さ12インチ)と3つの独立赤外線加熱ゾーンにより、メンテナンスの必要性や所有コストを低く抑えながら、高い生産要件に対応する安定した性能を提供します。 装置長さ 589cm プロセスガスオプション 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス 加熱部 対流式:上部8/下部8 遠赤外線式:上部3 冷却部 上部3(下部オプション) 最高動作温度(対流式/遠赤外線式) 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C 最小真空度 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr 最大基板サイズ 350mm (L) x 350mm (W) x 29mm (H) クリーンルームオプション クラス1000まで
1912MK5-VR 真空リフロー炉 ボイドレス真空リフロー炉 1912MK5-VRには3ヶ所の遠赤外線加熱ゾーンと11ヶ所の対流ゾーンが備わっているため、プロファイルをより小さなセグメントに細分化する柔軟性と、鉛フリー製品に必要な洗練された「プロファイルスカルプティング」を可能にします。加熱部の長さは382cm(150インチ)で大量生産に最適、メンテナンスの必要性や所有コストも抑えられます。 装置長さ 590cm プロセスガスオプション 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス 加熱部 対流式:上部11/下部11 遠赤外線式:上部3 加熱部長さ(対流/全長) 290 cm / 382 cm 冷却部 上部3(下部オプション) 最高動作温度(対流式/遠赤外線式) 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C 最小真空度 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr 最大基板サイズ 350mm (L) x 350mm (W) x 29mm (H) クリーンルームオプション クラス1000まで
1911MK5-VR 真空リフロー炉 ボイドレス真空リフロー炉 1911MK5-VRは対流加熱ゾーン(10ヶ所)と遠赤外線(3ヶ所)からなる加熱部全長364cmの大量生産に適した装置です。最小のデルタTで高い再現性を一貫して実現し、メンテナンスと所有コストを最小限に抑えます。 装置長さ 590cm プロセスガスオプション 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス 加熱部 対流式:11上部/11下部 遠赤外線式:3上部 加熱部長さ(対流/全長) 262 cm / 364 cm 冷却部 上部3(下部オプション) 最高動作温度(対流式/遠赤外線式) 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C 最小真空度 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr 最大基板サイズ 500mm (L) x 450mm (W) x 29mm (H) クリーンルームオプション クラス1000まで
1808MK5-VR 真空リフロー炉 ボイドレス真空リフロー炉 1808MK5-VRは、7ヶ所の対流ゾーンと3つのIRゾーンで構成されており、最小限のフロアスペースながら273cm(107インチ)の加熱長さを実現します。迅速な応答時間と正確な温度制御により、部品密度や基板の積載量に関係なく、プロセスの均一性を確保し、空気や窒素のいずれにおいても同様のプロファイル性能を実現します。 装置長さ 465cm プロセスガスオプション 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス 加熱部 対流式:7トップ/7ボトム 遠赤外線式:3トップ 加熱部長さ(対流/全長) 174 cm / 273 cm 冷却部 上部2(下部オプション) 最高動作温度(対流式/遠赤外線式) 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C 最小真空度 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr 最大基板サイズ 500mm (L) x 450mm (W) x 29mm (H) クリーンルームオプション クラス1000まで