全自動加圧硬化炉 – PCO 1300 300mm EFEMを備えた全自動加圧キュアオーブン 装置サイズ(mm): 2,200[W] x 2,200[D] x 2,475[H] チャンバー使用面積(mm):560[W] x 680[D] x 480[H] 最大動作圧力: 20 bar (290 psi) 最高動作温度:260⁰C 窒素対応(オプション) クリーンルームクラス100(オプション) 真空性能最大5Torr(オプション) EFEMを備えた全自動ローディング(300mmウェハー) Your browser does not support the video tag.
インライン加圧硬化炉 – PCO 1280 PLPパネルの硬化に使用されるデュアルローダーとマガジン容量2冊に対応したインライン加圧硬化です。 装置サイズ(mm):2,000[W] x 4,850[D] x 2,400[H] 最大動作圧力: 10 bar (145 psi) 最高動作温度:220⁰C 窒素 / CDA クリーンルームクラス1000 真空性能最大10Torr セミオートマチック装填(PLPパネルマガジン) 2冊容量 デュアルPLPパネルマガジン装填
Semi Automatic Pressure Curing Oven – PCO 1250 Semi automatic loading batch Pressure Curing Oven for magazines. Oven Size (mm): 3,040[L] x 1,980[W] x 2,698[H] Chamber Usable Area (mm): 1,415[L] x 650[W] x 540[H] Max Operating Pressure: 10 Bar (145 psi) Max Operating Temperature: 200⁰ C Nitrogen Enabled (option) Up to Cleanroom Class 100 (option) […]
加圧硬化炉 – PCO 1150 PLPパネルの硬化用手動装填PCO 装置サイズ(mm):2,000[W] x 2,300[D] x 2,300[H] 最大動作圧力: 10 bar (145 psi) 最高動作温度:220⁰C 窒素 / CDA クリーンルームクラス1000 真空性能最大10Torr 手動装填(PLPパネルマガジン) 1冊容量 PLPパネルマガジン
加圧硬化炉PCO – 700 装置サイズ(mm):1,800[L] x 1,350[W] x 1,750[H] チャンバー使用面積(mm):500[L] x 460[W] x 460[H] 最大動作圧力: 8 bar (116 psi) 最高動作温度:200⁰C 窒素対応 クリーンルームクラス100まで対応(オプション) 真空性能最大10Torr 手動装填 チャンバー寸法 システム内の空気の流れ
手動バッチ加圧硬化炉 – PCO 500 300mmウェーハ向け伝導加熱プレート付き手動装填バッチ加圧硬化炉 装置サイズ(mm):1,800[L] x 1,400[W] x 1,700[H] チャンバー使用面積(mm):350[L] x 350[W] x 227[H] 最大動作圧力: 12 bar (174 psi) 最高動作温度: 200⁰ C (強制対流式) 350 ⁰ C (伝導板オプション) 手動装填 外付けチラーオプション 圧力室内の伝導版オプション システム内の空気の流れ(トップダウン)
Heller Industries, leader in reflow oven technology, will exhibit at NEPCON China 2013 from April 23 – 25, 2013 in Shanghai, China. Visit Heller Industries in booth #1E41