2043MK5-VR 真空リフロー炉
ボイドレス真空リフロー炉
2043MK5-VRは10個の対流加熱ゾーンと3個の遠赤外線ゾーンを備え、全加熱長430cmという究極の大量生産用真空リフロー炉です。大型真空チャンバーは最大500mmの基板に対応し、3ヶ所ある冷却ゾーンにより大型基板でも1秒あたり3℃以上の冷却速度が得られます。
| 装置長さ | 680厘米 |
| プロセスガスオプション | 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス |
| 加熱部 | 対流式：上部11／下部11 遠赤外線式：上部3 |
| 加熱部長さ(対流/全長) | 327 cm / 430 cm |
| 冷却部 | 上部3(下部オプション) |
| 最高動作温度(対流式／遠赤外線式) | 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C |
| 最小真空度 | 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr |
| 最大基板サイズ | 500mm (L) x 450mm (W) x 29mm (H) |
| クリーンルームオプション | クラス1000まで |
