Hellerソフトウェア製品
- Heller 365 – SPCおよびトレーサビリティソフトウェアパッケージを3段階で提供しています：
- レベル1 – (トレーサビリティ) 全製品の記録、オーブンパラメータ、CpK
- レベル2 – (センサーレス・プロファイル・モニタリング)レベル1に加え、各基板のプロファイルを監視
- レベル3 – (TC付きプロファイルモニタリング)レベル1に加え、基板高さ付近にセンサーロッドを追加配置し、各基板のプロファイルを監視
- インダストリー4.0対応のHellerインターフェースとHellerサポート
- 互換性のあるインターフェイス規格
- IPC CFX
- Hermes
- SECS/GEM
- ASM
- iLNB
- Fuji Link
EFEMを内蔵した自動化
Hellerはウエハーと大型ガラスパネルを装備するためEFEMを内蔵しています。デュアルEFEMとリターンコンベア付きシングルEFEM構成オプションもご用意しています。
