1912MK5-VR 真空リフロー炉 ボイドレス真空リフロー炉 1912MK5-VRには3ヶ所の遠赤外線加熱ゾーンと11ヶ所の対流ゾーンが備わっているため、プロファイルをより小さなセグメントに細分化する柔軟性と、鉛フリー製品に必要な洗練された「プロファイルスカルプティング」を可能にします。加熱部の長さは382cm(150インチ)で大量生産に最適、メンテナンスの必要性や所有コストも抑えられます。 装置長さ 590cm プロセスガスオプション 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス 加熱部 対流式:上部11/下部11 遠赤外線式:上部3 加熱部長さ(対流/全長) 290 cm / 382 cm 冷却部 上部3(下部オプション) 最高動作温度(対流式/遠赤外線式) 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C 最小真空度 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr 最大基板サイズ 350mm (L) x 350mm (W) x 29mm (H) クリーンルームオプション クラス1000まで
1911MK5-VR 真空リフロー炉 ボイドレス真空リフロー炉 1911MK5-VRは対流加熱ゾーン(10ヶ所)と遠赤外線(3ヶ所)からなる加熱部全長364cmの大量生産に適した装置です。最小のデルタTで高い再現性を一貫して実現し、メンテナンスと所有コストを最小限に抑えます。 装置長さ 590cm プロセスガスオプション 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス 加熱部 対流式:11上部/11下部 遠赤外線式:3上部 加熱部長さ(対流/全長) 262 cm / 364 cm 冷却部 上部3(下部オプション) 最高動作温度(対流式/遠赤外線式) 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C 最小真空度 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr 最大基板サイズ 500mm (L) x 450mm (W) x 29mm (H) クリーンルームオプション クラス1000まで
1808MK5-VR 真空リフロー炉 ボイドレス真空リフロー炉 1808MK5-VRは、7ヶ所の対流ゾーンと3つのIRゾーンで構成されており、最小限のフロアスペースながら273cm(107インチ)の加熱長さを実現します。迅速な応答時間と正確な温度制御により、部品密度や基板の積載量に関係なく、プロセスの均一性を確保し、空気や窒素のいずれにおいても同様のプロファイル性能を実現します。 装置長さ 465cm プロセスガスオプション 空気、窒素、ギ酸、フォーミングガス 加熱部 対流式:7トップ/7ボトム 遠赤外線式:3トップ 加熱部長さ(対流/全長) 174 cm / 273 cm 冷却部 上部2(下部オプション) 最高動作温度(対流式/遠赤外線式) 標準: 350°C / 400°C, オプション: 400°C / 480°C 最小真空度 標準: 10 Torr オプション: < 10 Torr 最大基板サイズ 500mm (L) x 450mm (W) x 29mm (H) クリーンルームオプション クラス1000まで
縦型硬化炉VCO 722 設置面積最小限の縦型硬化炉VCO 722 クリーンルームスペース4フィート未満の単列の小型縦型硬化炉です。 装置サイズ(mm):1874(L) x 1150(W) x 2256(H) 単列、2加熱ゾーン トレイ収容22枚(上22枚+下0枚) 棚ピッチ 38.1mm 硬化時間:最大60分 最大ゾーン温度設定値:120°C 排気モニタ VCO 722内のトレイ動き
インライン加圧硬化炉 – PCO 1280 PLPパネルの硬化に使用されるデュアルローダーとマガジン容量2冊に対応したインライン加圧硬化です。 装置サイズ(mm):2,000[W] x 4,850[D] x 2,400[H] 最大動作圧力: 10 bar (145 psi) 最高動作温度:220⁰C 窒素 / CDA クリーンルームクラス1000 真空性能最大10Torr セミオートマチック装填(PLPパネルマガジン) 2冊容量 デュアルPLPパネルマガジン装填
Semi Automatic Pressure Curing Oven – PCO 1250 Semi automatic loading batch Pressure Curing Oven for magazines. Oven Size (mm): 3,040[L] x 1,980[W] x 2,698[H] Chamber Usable Area (mm): 1,415[L] x 650[W] x 540[H] Max Operating Pressure: 10 Bar (145 psi) Max Operating Temperature: 200⁰ C Nitrogen Enabled (option) Up to Cleanroom Class 100 (option) […]
加圧硬化炉 – PCO 1150 PLPパネルの硬化用手動装填PCO 装置サイズ(mm):2,000[W] x 2,300[D] x 2,300[H] 最大動作圧力: 10 bar (145 psi) 最高動作温度:220⁰C 窒素 / CDA クリーンルームクラス1000 真空性能最大10Torr 手動装填(PLPパネルマガジン) 1冊容量 PLPパネルマガジン
加圧硬化炉PCO – 700 装置サイズ(mm):1,800[L] x 1,350[W] x 1,750[H] チャンバー使用面積(mm):500[L] x 460[W] x 460[H] 最大動作圧力: 8 bar (116 psi) 最高動作温度:200⁰C 窒素対応 クリーンルームクラス100まで対応(オプション) 真空性能最大10Torr 手動装填 チャンバー寸法 システム内の空気の流れ
手動バッチ加圧硬化炉 – PCO 500 300mmウェーハ向け伝導加熱プレート付き手動装填バッチ加圧硬化炉 装置サイズ(mm):1,800[L] x 1,400[W] x 1,700[H] チャンバー使用面積(mm):350[L] x 350[W] x 227[H] 最大動作圧力: 12 bar (174 psi) 最高動作温度: 200⁰ C (強制対流式) 350 ⁰ C (伝導板オプション) 手動装填 外付けチラーオプション 圧力室内の伝導版オプション システム内の空気の流れ(トップダウン)
ISO9001認証取得 マーケットリーダーとして、Hellerは多様性、柔軟性、エンジニアリング能力を備え、お客様の個々の硬化要件に応じたカスタムソリューションを開発します。Hellerでは、バッチ式とインライン式の両方の硬化炉を様々なフォームファクタと設置面積で提供しています。どのHeller製オーブンも窒素、クリーンルーム、自動化オプションがあり、非常に安定した処理を提供します。 横型硬化炉 横型インライン硬化炉は、高いUPHでパレットサイズに柔軟です。 縦型硬化炉 縦型インライン硬化炉で、設置面積を削減し、高いUPHを実現します。 加圧硬化炉 オートクレーブとも呼ばれる圧力チャンバー付き硬化炉で、ボイドフリーの硬化用途に適しています。 マガジン硬化炉 マガジン用途に適した硬化炉です。 Hellerは信頼性の高い機器、継続的なイノベーション、そして迅速なエンジニアリングを提供することで世界中のお客様から信頼を得ています。当社は24時間体制でグローバルなサービスネットワークを提供しています。また、RMATS(リモート・モデム・アクセス・テクニカルサービス)により、最先端のサポートを提供しています。この最新システムにより、当社のサービスエンジニアはお客様がどこにいても、いつでも炉内部の電子機器にアクセスし、お客様のご質問にお答えします。